激光干涉儀的使用技巧，你了解嗎？
點擊次數(shù)：1987 更新時間：2020-06-10
激光干涉儀具有快速、高準(zhǔn)確測量的優(yōu)點，是校準(zhǔn)數(shù)字機床、坐標(biāo)測量機及其它定位裝置精度及線性指標(biāo)常用的標(biāo)準(zhǔn)儀器，掌握一些該干涉儀的使用技巧會使測量互作事半功倍。今天，本文就來為你簡單講解一下關(guān)于它的一些使用技巧。
1、輔助工具的選擇
雖然激光干涉儀安裝組件比較齊全，但在實際使用過程中還是需要另外配置一些輔助工具：
?、傺兄频透叨仍婆_支架
部分機床工作臺高度與地面是基本相平的，那么測量Z軸時，如果使用激光干涉儀原裝三角架及云臺安放激光器于地面，則肯定會因為三角架本身的高度，損失測量范圍。
?、谶x擇磁性表座
磁性表座是激光干涉儀常用的輔助工具，選擇時需要注意，表座工作面上需有螺孔以配合安裝鏡組安裝桿，主磁性吸面位于底面和側(cè)面的表座各選擇兩個(實驗室或工廠多采用的是主磁性吸面位于底面的表座)，在測量時，往往側(cè)面吸的表座更利于激光干涉儀鏡組的安裝。
2、Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法
用激光干涉儀進行線性測量時，Z軸測量時激光光路的準(zhǔn)直相對X、Y軸準(zhǔn)直來說，要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下，要保證激光光束經(jīng)反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求，準(zhǔn)直激光光路往往需要很長時間。
Z軸激光光路快速準(zhǔn)直方法具體調(diào)整方法如下：Z軸置于低處，利用激光器外殼中部的瞄準(zhǔn)槽，正對Z軸放置分光鏡，左右移開Z軸，觀察激光光路，保證激光轉(zhuǎn)向后大致平行于Z軸，左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準(zhǔn)及控制光路的靶)，激光打在反射鏡光靶上。
